高纯气体对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。
无机高纯气体:
1、空气(Air)、氢气(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、氩气(Ar)、氦气(He)、氖气(Ne)、氪气(Kr)、氙气(Xe)等;
2、氨气(NH3)、氯气(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亚氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)、硫化氢(H2S)等;
3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、 四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等
常见高纯气体的用途:
环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等;
氯甲烷是重要的甲基化剂,还可作致冷剂、发泡剂等;
氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂;
二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂;甲硫醇用于合成染料、医药、农药;
乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收;乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等